2025-05-08
高純特氣柜:半導(dǎo)體制造的"生命支持系統(tǒng)
在芯片制程進入3納米時代的今天,特氣柜作為特殊氣體存儲與分配的核心設(shè)備,其純度控制精度直接決定著晶圓良品率?,F(xiàn)代半導(dǎo)體工廠中,一套完整的特氣系統(tǒng)包含氣瓶柜、閥門箱、氣體面板等模塊,采用316L電解拋光不銹鋼管路,內(nèi)表面粗糙度需控制在0.25μm以下,確保氮氣、氬氣等惰性氣體在輸送過程中純度維持在99.9999%級別。
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